特許

J-GLOBAL ID：201103023805716910

インプリント用硬化性組成物、硬化物および硬化物の製造方法

発明者： 崎田 享平 ,  藤田 明徳 ,  米澤 裕之
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-205713
公開番号（公開出願番号）：特開2011-060818
出願日： 2009年09月07日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】低粘度かつ低揮発性のインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】分子量310以上、25°Cにおける粘度が30mPa・s以下で、炭素原子、酸素原子および水素原子のみから構成される(メタ)アクリレート化合物を全重合性単量体中30重量%以上の割合で含むことを特徴とするインプリント用硬化性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

分子量310以上、25°Cにおける粘度が30mPa・s以下で、炭素原子、酸素原子および水素原子のみから構成される(メタ)アクリレート化合物を、全重合性単量体中30重量%以上の割合で含むことを特徴とするインプリント用硬化性組成物。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  C08F 20/10 ,  B29C 59/02

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  C08F20/10 ,  B29C59/02 Z

Fターム (40件)：

4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AC05 ,  4F209AD04 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AK03 ,  4F209AR17 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PB13 ,  4F209PH27 ,  4F209PJ06 ,  4F209PN03 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4J100AL08T ,  4J100AL10T ,  4J100AL61R ,  4J100AL62P ,  4J100AL63T ,  4J100AL66Q ,  4J100AL66T ,  4J100AL75S ,  4J100BA05T ,  4J100BA08T ,  4J100BA10Q ,  4J100BA80T ,  4J100BC04T ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA32 ,  4J100JA46 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-189852   出願人：富士フイルム株式会社
• 光硬化性樹脂組成物及びパターン形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-004755   出願人：日立化成工業株式会社
• 液状光重合性組成物、それを用いたナノ構造物およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-349447   出願人：日立化成工業株式会社