特許
J-GLOBAL ID：200903084688733566
光硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-189852
公開番号（公開出願番号）：特開2008-019292
出願日： 2006年07月10日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
【課題】光硬化性、密着性、離型性、残膜性、パターン形状、塗布性(I)、塗布性(II)、エッチング適性のいずれにも優れた組成物を提供する。【解決手段】(a)重合性化合物と、(b)光重合開始剤および/または光酸発生剤0.1〜15質量%と、(c)フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤およびフッ素・シリコーン系界面活性剤の少なくとも1種0.001〜5質量%とを含み、(d)25°Cにおける粘度が3〜18mPa・sの範囲である、光硬化性組成物であって、前記(a)重合性化合物は、(e)1次皮膚刺激性(PII値)が4.0以下である重合性不飽和単量体および、(f)25°Cにおける粘度が30mPa・s以下である重合性不飽和単量体を、それぞれ、50質量%以上含む、光硬化性組成物(但し、前記(e)の重合性不飽和単量体と前記(f)の重合性不飽和単量体は、その一部または全部が同一の重合性不飽和単量体であってもよい)。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)重合性化合物と、
(b)光重合開始剤および/または光酸発生剤0.1〜15質量%と、
(c)フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤およびフッ素・シリコーン系界面活性剤の少なくとも1種0.001〜5質量%とを含み、
(d)25°Cにおける粘度が3〜18mPa・sの範囲である、光硬化性組成物であって、
前記(a)重合性化合物は、(e)1次皮膚刺激性(PII値)が4.0以下である重合性不飽和単量体および、(f)25°Cにおける粘度が30mPa・s以下である重合性不飽和単量体を、それぞれ、50質量%以上含む、光硬化性組成物(但し、前記(e)の重合性不飽和単量体と前記(f)の重合性不飽和単量体は、その一部または全部が同一の重合性不飽和単量体であってもよい)。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C08F2/44 Z
, H01L21/302 105A
4J011AA05
, 4J011PA66
, 4J011PA99
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011PC08
, 5F004BD01
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA04
, 5F004DA11
, 5F004DA16
, 5F004DA18
, 5F004DA26
, 5F004DA27
, 5F004DB01
, 5F004DB03
, 5F004DB08
, 5F004DB23
, 5F004DB30
, 5F004EA04
出願人引用 (25件)
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審査官引用 (5件)
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