ウエハ支持部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340674
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156162
特許番号：特許第3914671号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板状セラミック体の上面をウエハの設置面とし、その内部に少なくとも一つの内部電極を備えるとともに、前記設置面以外の板状セラミック体表面に、前記内部電極と電気的に接続される給電端子及び他の金属部材を、銀を含むロウ材層を介して接合して成るウエハ支持部材において、前記設置面以外の板状セラミック体の表面における給電端子との接合部及び他の金属部材との接合部の上方で、かつ前記内部電極の下方にあるセラミック層中に、各接合部におけるロウ材層の外周より大きな外周を有する導体層を各々埋設するとともに、上記給電端子とその上方の導体層及び上記他の金属部材とその上方の導体層とをそれぞれ電気的に接続して同電位としたことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (3件)：