特許

J-GLOBAL ID：201103024451959557

電子部品の製造方法

発明者： エリック・ジェイ・ウールシィ ,  ダグラス・ジー・ミッチェル ,  ジョージ・エフ・カーネイ ,  フランシス・ジェイ・ジュニア・カーネイ ,  カリー・ビー・パウエル
出願人/特許権者： フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 桑垣 衛 ,  大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215844
公開番号（公開出願番号）：特開2000-106362
特許番号：特許第4484271号
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子部品の製造方法であって、前記電子部品は、基板と、バリア層を形成するために前記基板上に設けられ、窒化チタン・タングステン又はチタン・タングステンにより構成される第1の金属層と、コンタクト・バンプを形成するために前記バリア層上に設けられ、鉛を含む第2の金属層とを備え、前記第2の金属層の存在下で前記第1の金属層をエッチング液によりエッチングする方法において、 前記エッチング液は、過酸化水素と、エチレンジニトリロ四酢酸と、1,2-シクロヘキシレンジニトリロ四酢酸とからなることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 21/308 ( 200 6.01) ,  C23F 1/26 ( 200 6.01) ,  H01L 21/768 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/308 F ,  C23F 1/26 ,  H01L 21/90 P

引用特許：

出願人引用 (2件)

• C4製造のためのTiWの選択的エッチング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-147732   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• チタン・タングステン合金のエッチング方法およびエッチャント溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298186   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

審査官引用 (2件)

• C4製造のためのTiWの選択的エッチング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-147732   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• チタン・タングステン合金のエッチング方法およびエッチャント溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298186   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション