特許
J-GLOBAL ID：201103024851300562
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高野 明近
, 安田 啓之
, 岩野 進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127393
特許番号：特許第4251729号
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 インク滴を吐出するノズルと、該ノズルに連通するインク液室と、該インク液室と接して設けられた振動板と、該振動板に空間を経て対向して設けられた個別電極とを有し、該個別電極に電圧を印加することにより、前記振動板に変型を生じさせるインクジェットヘッドであって、前記振動板と前記個別電極との間にギャップを形成するための絶縁膜であるシリコン酸化膜からなるギャップスペーサを単結晶シリコン基板に形成し、前記個別電極は前記ギャップスペーサ内に前記振動板に対向して配設され、該個別電極に電圧を印加した時に、前記振動板を静電力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記シリコン酸化膜からなるギャップスペーサの側壁内面が前記個別電極を挟んで前記個別電極から振動板に向けて側壁内面同士の間隔が広がるように傾斜して前記振動板に対して漸近して接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
