インクジェット記録ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-084062
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272129
特許番号：特許第3339569号
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】インクプールに連通する複数の圧力室と、該各圧力室に共通に配設された振動板と、前記各圧力室に対応して配設され、各圧力室に対応する前記振動板の部分を振動させることにより各圧力室からインク滴を吐出する圧電素子とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板が、各圧力室に共通に配設される高分子化合物層と、前記各圧電素子に対応して、前記圧力室と逆側の前記高分子化合物層の表面上に形成された島状凸部と、各圧力室に共通に配設され、該圧力室に面する高分子化合物層の表面上を被覆する被覆金属層とを備え、前記被覆金属層の表面に酸化シリコン膜が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

IPC (3件)：