特許
J-GLOBAL ID：201103025862582582
レーザー加熱オングストローム法による薄膜の熱拡散率測定方法及びその測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
清水 善廣
, 阿部 伸一
, 辻田 幸史
, 田代 作男
, 町田 悦夫
, 打揚 洋次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-158409
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346818
特許番号：特許第4104785号
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上に部分的に薄膜が形成された試料上に温度変化に光反射率変化が比例する金属からなる金属薄膜を形成し、薄膜の端部上の位置にプローブ・レーザー光を照射すると同時に、その照射領域から外れた薄膜が形成されていない基板上の該金属薄膜に周期的に該プローブ・レーザー光とは波長の異なるレーザー光を照射して該薄膜試料を加熱する第1加熱と、続いてその照射領域から外れた薄膜が形成されている基板上の該金属薄膜に周期的に該レーザー光を照射して該薄膜試料を加熱する第2加熱を行い、該プローブ・レーザー光の反射光を波長を選択して透過させる光学フィルターを介してフォトダイオード等の光学センサーで受光し、その受光信号をロックイン増幅器で検波することにより該プローブ・レーザー光の照射点の温度変化を非接触式に測定し、温度振幅の対数減衰率及び位相変化率を求めて該薄膜の面内方向の熱拡散率を測定することを特徴とするレーザー加熱オングストローム法による薄膜の熱拡散率測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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特開平4-009641
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光熱信号検出方法及び装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-082261
出願人：株式会社日立製作所
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構造欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-203367
出願人：日本電気株式会社
引用文献：
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