検査装置およびその方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-225875
公開番号（公開出願番号）：特開2011-075351
出願日： 2009年09月30日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：

【課題】検査部内には基板を全面検査するためにXY移動ステージ機構や高速回転機構などの可動部があり、ファンフィルタユニット(以下FFU)も、付着異物をゼロにすることは困難である。【解決手段】本発明は、複数の領域に分割されたファンフィルタユニットと、前記ファンフィルタユニットからの空気を排気するための複数の領域に分割された排気ユニットと、前記ファンフィルタユニットと前記排気ユニットとの間に配置された搬送系とを有し、前記搬送系の動作に応じて、前記ファンフィルタユニットの一部の領域の流量と、前記排気ユニットの一部の領域の流量とを制御することを第1の特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板を検査する検査装置において、複数の領域に分割されたファンフィルタユニットと、前記ファンフィルタユニットからの空気を排気するための複数の領域に分割された排気ユニットと、前記ファンフィルタユニットと前記排気ユニットとの間に配置された搬送系とを有し、前記搬送系の動作に応じて、前記ファンフィルタユニットの一部の領域の流量と、前記排気ユニットの一部の領域の流量とを制御する検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 Z , H01L21/66 J

Fターム (13件)：

2G051AA51 , 2G051AA71 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051CD09 , 2G051DA05 , 2G051DA07 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA41 , 4M106DB02 , 4M106DB07 , 4M106DB30

引用特許：

出願人引用 (4件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-313074 出願人：ソニー株式会社
光学装置および光学装置の汚染防止方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-113505 出願人：キヤノン株式会社
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-313072 出願人：ソニー株式会社

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審査官引用 (4件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-313074 出願人：ソニー株式会社
光学装置および光学装置の汚染防止方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-113505 出願人：キヤノン株式会社
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-313072 出願人：ソニー株式会社

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