撮像システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 塩田辰也 , 寺崎史朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-524683
特許番号：特許第4540931号
出願日： 2000年09月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源から出射された光束の進行方向に垂直な断面内における前記光束の一方向の成分のみを集光するシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズから出射された前記光束が、その集光位置を過ぎた後に入射し前記光束を試料に導く対物レンズとを備え、前記試料上にスリット形状の光束を投影する光学ユニットと、前記シリンドリカルレンズと前記対物レンズとの間の前記光束の光路上であって前記集光位置に設けられたガルバノミラーと、前記試料上への前記スリット形状の光束の入射に応じて前記試料から出射された光束を撮像するTVカメラとを備えることを特徴とする撮像システム。

IPC (3件)：