特許
J-GLOBAL ID：201103027744977311

加熱剥離型自己粘着シート

発明者：
久世 勝朗

久世 勝朗 について

, 
内山 隆司

内山 隆司 について

, 
野並 宏典

野並 宏典 について


出願人/特許権者：
クレハエラストマー株式会社

クレハエラストマー株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 了司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319410
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119439
特許番号：特許第3766306号
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基材シートの少なくとも片面にゴムや熱可塑性エラストマーからなる自己粘着層を備え、この自己粘着層は、表層のダイナミック硬度が1.5〜20mN/μm2で、かつ常温からの温度上昇と共に自己粘着力の低下する加熱剥離型であって、該自己粘着層の自己粘着力を直径5.1mmのステンレス鋼製円柱形プローブを用いてイマージョン速度30mm/分、テスト速度600mm/分、加圧50gf、ディスタント5mmの条件で測定したとき、上記自己粘着力が25°Cで980〜5000mN/20mm2、80°Cで900mN/20mm2以下に設定され、この加熱剥離型自己粘着層の温度による粘着力の変化がリバーシブルであり、この加熱剥離型自己粘着層が半導体ウエハの固定用であることを特徴とする加熱剥離型自己粘着シート。
IPC (3件)：
C09J 7/02 ( 200 6.01) ,  C09J 201/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (3件)：
C09J 7/02 Z ,  C09J 201/00 ,  H01L 21/78 M
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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