特許
J-GLOBAL ID:201103027888332404

スタンパ吸着方法及びスタンパ吸着装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 義明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-046765
公開番号(公開出願番号):特開2000-238087
特許番号:特許第3887681号
出願日: 1999年02月24日
公開日(公表日): 2000年09月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 固定金型又は移動金型のいずれか一方に、表面に微細なパターンを有するスタンパを吸着させるスタンパ吸着方法において、 スタンパと金型吸着面との間に、スタンパを金型吸着面に吸着させる内側吸着ゾーンと、その外側に設けられた外側吸着ゾーンとを設け、 スタンパの吸着時には、内側吸着ゾーンから外側吸着ゾーンに向かって順次吸着させていくことを特徴とするスタンパ吸着方法。
IPC (2件):
B29C 45/36 ( 200 6.01) ,  B29C 33/30 ( 200 6.01)
FI (2件):
B29C 45/36 ,  B29C 33/30
引用特許:
審査官引用 (2件)

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