圧電素子の周波数調整装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外10名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134773
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323442
特許番号：特許第3422724号
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空室内に電極を有する圧電素子を配置し、イオンガンにて該圧電素子上の電極をイオンビームエッチングし、そして該エッチングされている圧電素子の共振周波数をモニタする圧電素子の周波数調整方法において、該エッチングによる圧電素子の周波数調整時に、該イオンガンのイオンビーム電流密度を時間経過に対し一定に保つよう該イオンガンを制御し、該圧電素子のエッチング時のモニタ周波数が所望の共振周波数より所定のシフト周波数だけ高く設定された目標周波数になる迄エッチングすることを特徴とする方法。

IPC (2件)：