遊離砥粒スラリー組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：アクシス国際特許業務法人 , 倉内基弘 , 風間弘志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163508
公開番号（公開出願番号）：特開2000-351959
特許番号：特許第4234849号
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】軟材料が金属である異硬度材料が混在する複合材料を研磨するための遊離砥粒研磨スラリー組成物であって、研磨剤粒子、分散媒として非極性溶媒、粒子表面を疎水化処理するための表面改質剤、及び一般式RCOOR’(式中、Rは炭素数が12〜22の脂肪族基であり、R’はメチル、エチル、n-プロピル、イソプロピル、n-ブチル、イソブチル基である。)で表される少なくとも1種の脂肪酸エステルを含む遊離砥粒研磨スラリー組成物。

IPC (3件)：