特許
J-GLOBAL ID：201103028221558630

Cr含有窒化チタン膜

発明者：
長坂 浩志

長坂 浩志 について

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角谷 桃子

角谷 桃子 について

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宮坂 松甫

宮坂 松甫 について

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片岡 匡史

片岡 匡史 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原エリオット

株式会社荏原エリオット について


代理人 (7件)： 社本 一夫 ,  栗田 忠彦 ,  桜井 周矩 ,  村上 清 ,  細川 伸哉 ,  松山 美奈子 ,  小磯 貴子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157507
公開番号（公開出願番号）：特開2002-047557
特許番号：特許第4245827号
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】Cr及びTiを同時に基材上に真空蒸着すると共に、窒素を主体とするイオンビームを照射することにより形成したCr含有窒化チタン膜であって、 結晶粒子が面心立方晶構造で、結晶方位が(200)面に配向しており、 Ti(1-x)CrxN(式中、0.3<x≦0.6(原子濃度))で表され且つ窒素量がTiとCrとNとの合計量を基準として20at%以上50at%以下である、 Cr含有窒化チタン膜。
IPC (6件)：
C23C 14/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/48 ( 200 6.01) ,  F01D 25/00 ( 200 6.01) ,  F01D 25/16 ( 200 6.01) ,  F02C 7/00 ( 200 6.01) ,  F02C 7/28 ( 200 6.01)
FI (6件)：
C23C 14/06 L ,  C23C 14/48 D ,  F01D 25/00 L ,  F01D 25/16 Z ,  F02C 7/00 C ,  F02C 7/28 E
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
  • 被覆硬質部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034612   出願人：日立ツール株式会社
  • 高温摺動部材用硬質膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-302259   出願人：株式会社荏原製作所
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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