力学量センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：伊藤高順 , 加藤大登 , 永井聡 , 碓氷裕彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105161
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299640
特許番号：特許第4329275号
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基部(11)と、この基部に対して力学量の印加に応じて所定方向に変位可能なように支持された錘部(20)と、この錘部から突出する櫛歯状の可動電極(24)と、この可動電極における個々の櫛歯の側面と離間して対向するように前記基部から突出する櫛歯状の固定電極(31、32)とを備え、力学量が印加されたときの前記錘部の変位に伴う前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化に基づいて、印加力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、前記可動電極及び前記固定電極の両方における個々の櫛歯の平面形状が、根元部側から突出先端部側に向かってテーパ状に細くなった形状となっていることを特徴とする力学量センサ。

IPC (3件)：