水酸化テトラアルキルアンモニウム廃液の濃縮方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367213
公開番号（公開出願番号）：特開2003-164859
特許番号：特許第3766629号
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レジスト由来の有機物及び界面活性剤を含有する水酸化テトラアルキルアンモニウム廃液を流下式薄膜蒸発器に供給して濃縮するに際し、該流下式薄膜蒸発器の加熱面の下端における液膜の厚み(T1)を0.3〜1.2mmに調整することを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウム廃液の濃縮方法。

IPC (4件)：

C02F 1/08 ( 200 6.01) , B01D 1/22 ( 200 6.01) , G03F 7/32 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C02F 1/08 , B01D 1/22 A , G03F 7/32 , H01L 21/30 569 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

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