特許

J-GLOBAL ID：200903071131032757

現像廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの精製回収方法

発明者： 入江 晃士 ,  矢野 勝治 ,  木下 芳夫 ,  和田 紘一 ,  守屋 則雄 ,  高橋 ▲修▼二
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 内田 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229332
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053568
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 ポジ型レジスト現像液として使用された水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液から、フォトリソグラフィー工程に再利用可能な高純度水酸化テトラアルキルアンモニウムを工業的有利に精製、回収する。【解決手段】 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を活性炭で処理して該廃液中の不純物を吸着除去する。または、水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を中和処理して、不溶化析出物を除去し、次いで、活性炭で処理して該廃液中の不純物を吸着除去し、さらに、陽イオン交換膜を用いた電解槽にて電気透析を行う。

請求項（抜粋）：

ポジ型レジスト現像液として使用された水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液を活性炭で処理して該廃液中の不純物を吸着除去することを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウムの精製回収方法。

IPC (6件)：

C07C211/63 ,  B01D 61/44 500 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/469 ,  C07C209/84 ,  G03F 7/26

FI (6件)：

C07C211/63 ,  B01D 61/44 500 ,  C02F 1/28 D ,  C07C209/84 ,  G03F 7/26 ,  C02F 1/46 103

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 水酸化テトラアルキルアンモニウムの再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172831   出願人：クロリンエンジニアズ株式会社
• 水酸化テトラアルキルアンモニムの再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-267677   出願人：クロリンエンジニアズ株式会社
• 感光材料の処理廃液の処理方法及び現像処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-236267   出願人：コニカ株式会社
• 特開昭63-014759