特許
J-GLOBAL ID:201103028918164036
分光結晶、波長分散型X線分析装置および元素分布測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
須田 篤
, 楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-252190
公開番号(公開出願番号):特開2011-095224
出願日: 2009年11月02日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶13、波長分散型X線分析装置10および元素分布測定方法を提供する。【解決手段】分光結晶13は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料1から検出器14に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料1側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶13は、基準直線が試料1と検出器14とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器14が、X線を検出する線状または面状の検出部14aを有し、検出部14aが試料1と検出器14とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
波長分散型X線分析で試料と検出器との間に配置して使用される分光結晶であって、
所定の基準直線に沿って、前記基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有し、前記基準直線に沿って前記円弧の曲率が変化するとともに、前記円弧を含む円弧含有平面と前記基準直線との成す角が変化するよう構成されていることを、
特徴とする分光結晶。
IPC (2件):
G01N 23/223
, G01N 23/225
FI (2件):
Fターム (19件):
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA08
, 2G001DA09
, 2G001EA02
, 2G001EA20
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001KA01
, 2G001NA07
, 2G001NA11
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001PA11
, 2G001PA14
引用特許:
引用文献: