特許
J-GLOBAL ID:201103028969810714
冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネル及び冷陰極電界電子放出表示装置、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山本 孝久
, 吉井 正明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-200222
公開番号(公開出願番号):特開2001-035423
特許番号:特許第4196490号
出願日: 1999年07月14日
公開日(公表日): 2001年02月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】(イ)複数の幹配線、
(ロ)各幹配線から延びる複数の枝配線、並びに、
(ハ)各枝配線に接続された冷陰極電界電子放出部、
を具備する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法であって、
アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る下層とバリアメタル層から成る上層の2層構造を有する電極用導電材料層をパターニングすることにより幹配線及び枝配線を形成し、
その後、枝配線の一部分のバリアメタル層を除去することにより、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層から成る第1の枝配線部分、及び、アルミニウム層あるいはアルミニウム合金層とバリアメタル層の2層構造を有する第2の枝配線部分から構成された枝配線を形成する冷陰極電界電子放出表示装置用カソード・パネルの製造方法。
IPC (5件):
H01J 9/02 ( 200 6.01)
, H01J 29/04 ( 200 6.01)
, H01J 31/12 ( 200 6.01)
, H01J 9/42 ( 200 6.01)
, H01J 9/50 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01J 9/02 B
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 9/42 A
, H01J 9/50 A
引用特許: