電界電子放出素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉田政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162324
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】電界放出によって電子を放出する電子放出素子において、電子引き出しのための高電圧が印加される電極間が短絡しても、電子放出素子の全体が機能停止に陥ることを防止する。【解決手段】エミッタ4を微小空隙を介してゲート電極3に近接配置してゲート電極3との間に電圧を印加することにより、ゲート電極3とエミッタ4との間に形成される強電界によりそれぞれのエミッタ4から電子を放出させるようにした電子放出素子において、ゲート電極3に膜厚の薄い部分を作り込むことで、易溶断部8を形成した。

請求項（抜粋）：