液処理装置及び液処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-346000
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168079
特許番号：特許第3729482号
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理部に供給される処理液を貯留する2つのタンクの一方を、他方のタンク内に収容して外側タンクと内側タンクの二重槽構造とし、上記両タンクと上記処理部とをそれぞれ供給管路を介して接続すると共に、上記外側のタンクと処理部とを戻り管路を介して接続し、上記内側タンクと液供給源とを液供給管路を介して接続すると共に、内側タンクの上端部に、この内側タンクからオーバーフローする処理液を外側タンク内に供給するオーバーフロー管路を配設してなる、ことを特徴とする液処理装置。

IPC (3件)：