特許

J-GLOBAL ID：201103029164339418

真空搬送装置

発明者： 玉屋 俊輔 ,  伊藤 亘
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2009051237
公開番号（公開出願番号）：WO2009-096373
出願日： 2009年01月27日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

搬送物の鉛直方向の搬送量を増加させると共に、真空搬送装置を設置するために要する体積を削減し、真空搬送装置の小型化を図る。 基板(100)を水平方向に搬送するための水平搬送機構(111)と、基板(100)を鉛直方向に搬送するための鉛直搬送機構(112)と、水平搬送機構(111)及び鉛直搬送機構(112)が内部に配置された真空容器(101)と、真空容器(101)内に配置されたXY軸方向駆動軸(107a,107b)を有しこのXY軸方向駆動軸(107a,107b)によって水平搬送機構(111)を駆動する水平駆動部(113)と、真空容器(101)内に配置されたZ軸方向駆動軸(108a,108b)を有しこのZ軸方向駆動軸(108a,108b)によって鉛直搬送機構(112)を駆動する鉛直駆動部(114)と、を備える。

請求項（抜粋）：

搬送物を二次元方向に対して搬送する二次元搬送手段と、 それ自身は並進運動しないで前記二次元搬送手段を支持する支持手段と、 前記二次元搬送手段及び前記支持手段が内部に配置された真空室と、 を有し、 前記支持手段は、前記二次元搬送手段によって作られる平面に対して垂直な方向に前記二次元搬送手段を移動可能に構成されていることを特徴とする真空搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 9/06

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  B25J9/06 D

Fターム (38件)：

3C007AS24 ,  3C007AS31 ,  3C007BS15 ,  3C007CT04 ,  3C007CT07 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT17 ,  3C007HT20 ,  3C007HT21 ,  3C707AS24 ,  3C707AS31 ,  3C707BS15 ,  3C707CT04 ,  3C707CT07 ,  3C707CV07 ,  3C707CW07 ,  3C707HS27 ,  3C707HT02 ,  3C707HT17 ,  3C707HT20 ,  3C707HT21 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031LA07 ,  5F031LA14 ,  5F031MA03 ,  5F031MA29 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 真空室用搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-310057   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 搬送ロボットのシール構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-399441   出願人：株式会社アイテック