特許
J-GLOBAL ID：201103029568320605
基板並べ替え装置及び該装置を備えた基板処理装置並びに基板並べ替え方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093959
特許番号：特許第3335150号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のカセット内に収容された複数の基板の一部の向きを反転させて基板のフェイス面同士又はフェイス面の裏側であるバック面同士を対向させた配列に並べ換える基板並べ換え装置であって、前記基板並べ換え装置は、昇降機構と、水平方向に移動可能で略U字状でなり、先端部の左右対称な位置に前記基板を複数載置可能に保持する基板保持部材が装着されて該基板保持部材の保持溝と保持溝との間に基板1枚分を通過可能な溝が形成されている可動ベースを有する水平移動機構とを有する基板保持手段と、前記カセットの保持溝のピッチと異なるピッチで保持可能な溝を有する第1の押上部材、該第1の押上部材と同一の構成でなる第2の押上部材と、前記第1の押上部材及び第2の押上部材をそれぞれ支持する支持アームと、該支持アームを昇降する駆動手段と、前記支持アームを拡開及び縮閉する拡開縮閉手段とを有する基板昇降手段と、前記第1の押上部材及び前記第2の押上部材を夫々回転可能な回転機構を有する基板押上回転手段とを備え、前記拡開縮閉手段は、架台に取付固定されたモータと、該モータの出力軸に取り付けられた連結板と、該連結板の両端に一端が結合されてなる略コ字状の駆動板を有し、該駆動板の他端はそれぞれ前記支持アームと摺動可能に連結されてなり、前記連結板の回転作用により前記駆動板が拡開又は縮閉して前記支持アームが第1の位置と第2の位置に移動位置決め可能なことを特徴とする基板並べ換え装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 648
H01L 21/68 D
, H01L 21/304 648 B
