特許
J-GLOBAL ID:201103029710601137

電子線照射装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 恵二
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-354158
公開番号(公開出願番号):特開2001-166099
特許番号:特許第3636015号
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2001年06月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】複数本の互いに並列接続されたフィラメントと、このフィラメントから放出させた電子を電子線として引き出す引出し電極と、交流入力を整流して前記フィラメントと前記引出し電極との間に前者を負極側にして直流の引出し電圧を印加する引出し電源と、前記フィラメントを加熱する電力および前記引出し電源用の前記交流入力を大地電位部から供給する絶縁変圧器と、前記引出し電極と大地電位部との間に前者を負極側にして直流の加速電圧を印加する加速電源とを備えていて、前記絶縁変圧器の1次巻線に一定の大きさの1次電圧が供給される電子線照射装置において、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の1次巻線に供給される1次電圧V1 を計測する1次電圧計測器と、大地電位部に設けられていて、前記絶縁変圧器の1次巻線に流れる1次電流I1 を計測する1次電流計測器と、大地電位部に設けられていて、前記電子線の引き出しに伴って前記加速電源に流れる電子線電流IA を計測する電子線電流計測器と、大地電位部に設けられていて、前記計測された1次電圧V1 、1次電流I1 および電子線電流IA と、定数として与えられる前記引出し電源の出力電圧VE と、前記引出し電源の出力電流に対する前記電子線電流の比であり定数として与えられる引出し効率aとに基づいて、次式の演算を行って、前記フィラメントの点灯に実際に使用された実フィラメント電流IF を求める実フィラメント電流演算手段と、IF =I1 -IA ・VE /a・V1 大地電位部に設けられていて、前記求められた実フィラメント電流と所定の基準値とを比較して、前者が後者よりも小さいときに断線検出信号を出力する比較手段とを備えることを特徴とする電子線照射装置。
IPC (1件):
G21K 5/04
FI (1件):
G21K 5/04 F
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 電子線照射装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-069476   出願人:日新ハイボルテージ株式会社
  • 特開昭53-147199
  • 電子線照射装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-064177   出願人:日新ハイボルテージ株式会社
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