電子線照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069476
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248899
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】フィラメントが1本断線した場合でもそれを検出できるようにする。【解決手段】フィラメント変圧器26の2次巻線26b側に、当該2次巻線26bに流れるフィラメント電流If およびフィラメント6の両端のフィラメント電圧Vf を計測する電流計測器42および電圧計測器40を設けた。これらで計測した電圧Vf および電流If は、伝送回路44によって大地電位部へ伝送され、制御装置52に供給される。制御装置52はフィラメント電流制御器54と比較器56を有している。フィラメント電流制御器54は、伝送回路44から与えられるフィラメント電流If が一定になるように、電圧調整器32を制御して絶縁変圧器24へ供給する1次電圧V1 を調整する。比較器56は、伝送回路44から与えられるフィラメント電圧Vf と所定の基準電圧Rとを比較して前者Vfが後者Rよりも大きいときに断線検出信号Sを出力する。

請求項（抜粋）：

複数本の互いに並列接続されたフィラメントと、このフィラメントから放出させた電子を電子線として引き出す引出し電極と、この引出し電極と前記フィラメントとの間に前者を負極側にして直流の引出し電圧を印加する引出し電源と、前記フィラメントを加熱する電力および前記引出し電源を駆動する電力を大地電位部から供給する絶縁変圧器と、この絶縁変圧器の2次巻線と大地電位部との間に前者を負極側にして直流の加速電圧を印加する加速電源とを備える電子線照射装置において、前記絶縁変圧器の2次巻線以降であって前記引出し電源の接続点よりもフィラメント側の箇所の電流を計測する電流計測器と、前記絶縁変圧器の2次巻線以降の箇所の電圧を計測する電圧計測器と、これらの計測器で計測した電圧および電流を大地電位部へ伝送する伝送回路と、大地電位部に設けられていて前記伝送回路で伝送されて来る電流が一定になるように前記絶縁変圧器の1次巻線に供給する電圧を調整する制御回路と、大地電位部に設けられていて前記伝送回路で伝送されて来る電圧と基準電圧とを比較して前者が後者よりも大きいときに断線検出信号を出力する比較器とを備えることを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/04 , G21K 5/00 , H01J 37/04 , H01J 37/317

FI (4件)：

G21K 5/04 F , G21K 5/00 S , H01J 37/04 A , H01J 37/317 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-064177 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
荷電粒子線装置の電子源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080127 出願人：株式会社日立製作所
粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-241615 出願人：株式会社東芝

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