圧電素子電気的・機械的破損検出方法および圧電素子検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村智廣 (外5名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324956
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138514
特許番号：特許第3384373号
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】インクジェットプリンタ用圧電素子の電気的・機械的破損検出方法であって、上記圧電素子に具備されてノズル部を構成する複数の柱部に対し、電気的接続を順次切り換えながら、特定の周波数に関してインピーダンス測定を実施するスイッチング工程と、各柱部に関して測定したインピーダンスデータに基づき、上記圧電素子内における柱部のインピーダンスばらつきを判定する工程と、判定したインピーダンスばらつきを、予め用意してある基準となるインピーダンスばらつきの値と対比して上記圧電素子の合否判定を行う工程とを有することを特徴とする圧電素子の電気的・機械的破損検出方法。

IPC (6件)：