特許

J-GLOBAL ID：201103030250847157

半導体圧力センサ

発明者： 西村 仁 ,  渡辺 太郎 ,  橋本 剛宏
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013448
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201415
特許番号：特許第4444424号
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 センサ素子(6)と、該センサ素子を収容する内部空間(5)を有し、その底面にセンサ外部と連通する圧力導入孔(10)が設けられたパッケージ(2)とを備え、前記圧力導入孔の縁部に沿って前記内部空間に向けて環状に突出する第1の凸部(11)が設けられたことにより接着剤溜め(12)が形成され、前記第1の凸部上に前記センサ素子が配置され前記接着剤溜めに接着剤(13)が充填された状態で前記センサ素子が前記パッケージ内に固定され、さらに、前記センサ素子(6)を裏面側から支持する第2の凸部(16〜25)が前記パッケージ内部の底面上にて前記第1の凸部の周囲に設けられ、 前記第2の凸部は前記第1の凸部の周囲の複数箇所に前記第1の凸部から放射状に張り出すように設けられていることを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 9/00 303 J ,  H01L 29/84 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭57-073980
  
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-310133   出願人：北陸電気工業株式会社
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340809   出願人：富士電機株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-073980
  
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-310133   出願人：北陸電気工業株式会社
• 半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340809   出願人：富士電機株式会社
• 特開昭57-073980