特許

J-GLOBAL ID：201103030295563818

電子部品用環境試験装置

発明者： 涌井 正幸 ,  中村 由美夫 ,  浅沼 一範 ,  江澤 克和
出願人/特許権者： オリオン機械株式会社 ,  松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 下田 茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334712
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156130
特許番号：特許第3469515号
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電子部品を保持するカセットと、このカセットに保持された電子部品の環境試験を行う試験装置本体を備える電子部品用環境試験装置において、前記カセットを装填する昇降自在にガイドされたカセット支持部と、当該カセット支持部の上方に位置し、かつ前記カセットの上面を加熱するヒータ部を上方へ変位自在に支持する昇降自在にガイドされたヒータ支持部と、このヒータ支持部に対して前記カセット支持部が一定のストローク範囲で昇降自在となるように前記カセット支持部と前記ヒータ支持部を連結するリンク部と、前記カセット支持部の下方に位置し、かつ前記カセットに設けた一側コネクタに接続する他側コネクタを有する固定された接続基部と、前記ヒータ支持部を昇降させる昇降駆動部を備えることを特徴とする電子部品用環境試験装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

FI (2件)：

H01L 21/66 H ,  G01R 31/26 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ウェハバーンイン装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-040598   出願人：松下電器産業株式会社
• ウェハバーンイン装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-354444   出願人：松下電器産業株式会社