特許
J-GLOBAL ID：201103031030358372

基板搬送用装置

発明者：
勝田 信一

勝田 信一 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-016212
公開番号（公開出願番号）：特開2011-152621
出願日： 2010年01月28日
公開日（公表日）： 2011年08月11日
要約：
【課題】 基板保護、装置保護のための基板有無検出、および衝突検出を小型、低コストな1つのセンサにて精度よく検出し、基板の大型化に対する鉛直方向の振動についても同時に低減できる基板搬送用装置を提供する。【解決手段】 エンドエフェクタに取り付けたひずみセンサと、ひずみセンサ出力から基板有無を検出する基板有無検出部と、衝突有無を検出する衝突有無検出部と、鉛直方向の振動を低減する振動低減部を備える。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を載置するエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタに設けられたひずみセンサと、前記エンドエフェクタを水平方向および鉛直方向に移動させるアーム部と、前記アーム部を制御するコントローラと、を備えた基板搬送用装置において、 前記コントローラが、前記ひずみセンサからの信号によって、前記エンドエフェクタ上の前記基板の有無判断と、前記エンドエフェクタの衝突判断と、前記エンドエフェクタの移動時の鉛直方向の振動の低減制御と、の3つの機能を行なうことを特徴とする基板搬送用装置。
IPC (4件)：
B25J 13/08 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/06
FI (4件)：
B25J13/08 Z ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 E ,  B25J15/06 G
Fターム (31件)：
3C007BS15 ,  3C007KS29 ,  3C007KS30 ,  3C007KV06 ,  3C007KX07 ,  3C007MS07 ,  3C007MT05 ,  3C007NS12 ,  3C707BS15 ,  3C707KS29 ,  3C707KS30 ,  3C707KV06 ,  3C707KX07 ,  3C707MS07 ,  3C707MT05 ,  3C707NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA01 ,  5F031GA45 ,  5F031JA01 ,  5F031JA08 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51
引用特許：
審査官引用 (6件)
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