特許
J-GLOBAL ID:201103031323531826
搬送コンテナ
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
正林 真之
, 鎌田 久男
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-323707
公開番号(公開出願番号):特開2001-144158
特許番号:特許第4177535号
出願日: 1999年11月15日
公開日(公表日): 2001年05月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 搬送対象物を収納したケースが受渡しされるべきクリーンルームの側に設けられたドアに対応して、そのドアとの間を密閉状態に保ちながら前記クリーンルーム側のドアと同時に開閉することができるドアを備え、クリーンルーム外で前記ケースを搬送するためのコンテナであって、
前記ケースを載置する複数の棚板と、
前記棚板を支持する支持柱と、
前記棚板の下面側に配置され、前記ケースの上面を押圧して支持する支持具と、
前記棚板の下面と前記ケースの上面との間に設けられ、前記コンテナの外からの衝撃を緩和する第1の衝撃緩和手段と、
前記棚板の上面に設けられて前記ケースの下面に当接し、前記コンテナの外からの衝撃を緩和する第2の衝撃緩和手段と、
前記コンテナの筐体と前記支持柱との間に組み込まれ、前記コンテナの外からの衝撃を緩和する第3の衝撃緩和手段と、
前記コンテナ内の空気をろ過するろ過手段と、
前記ろ過手段を通過して前記コンテナ内の空気を循環させる循環手段と、
を含むことを特徴とする搬送コンテナ。
IPC (5件):
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65D 88/12 ( 200 6.01)
, B65G 49/00 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01L 21/68 A
, B65D 88/12 W
, B65G 49/00 C
, B65G 49/06 Z
, B65G 49/07 L
引用特許:
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