特許
J-GLOBAL ID：200903018491895863

防塵ワゴン、およびこれを備えた処理システム

発明者：
竹上 弘

竹上 弘 について


出願人/特許権者：
ローム株式会社

ローム株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-334086
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165862
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内に、その内部において処理すべきワークを搬入あるいは搬出する際の便宜を図る。【解決手段】 複数のワーク、たとえば半導体ウエハ15が収容されたカセット16を、高いクリーン度が確保された内部空間内12Aに複数個収容して移動可能な防塵ワゴン1において、上記各カセット16が内部空間内12Aを移動可能とされているとともに、高いクリーン度が確保され上記ワーク(半導体ウエハ15)に対して所定の処理を施すための装置が収容された処理室2と結合される結合部10を有し、かつ、上記結合部10が上記処理室2と結合された状態で、選択されたカセット16を上記結合部内10aに移動した後に、そのカセット16を上記処理室2側に移送できるように構成した。
請求項（抜粋）：
複数のワークが収容されたカセットを、高いクリーン度が確保された内部空間内に複数個収容して移動可能な防塵ワゴンであって、上記各カセットが内部空間内を移動可能とされているとともに、高いクリーン度が確保され上記ワークに対して所定の処理を施すための装置が収容された処理室と結合される結合部を有し、かつ、上記結合部が上記処理室と結合された状態で、選択されたカセットを上記結合部内に移動した後に、そのカセットを上記処理室側に移送できるように構成されていることを特徴とする、防塵ワゴン。
IPC (2件)：
B65G 49/00 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
B65G 49/00 A ,  H01L 21/68 A
引用特許：
審査官引用 (8件)
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