特許
J-GLOBAL ID：201103031812187429
表面波装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252778
特許番号：特許第3339450号
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ベース部材と、ベース部材にバンプ接合された表面波素子と、表面波素子を気密封止するようにベース部材に接合されたキャップ部材とを備えた表面波装置の製造方法において、表面波素子とベース部材とを融点が450°C以上の金属バンプによりバンプ接合し、ベース部材とキャップ部材との接合に金属バンプよりも低い融点のロウ材を用い、構成部材の全体をロウ材の融点よりも高い温度となるように均一に加熱してロウ材を溶融させてベース部材とキャップ部材とを接合することを特徴とする表面波素子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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