特許
J-GLOBAL ID：201103033160239220
メルトレベル検出装置及び検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
木村 高久
, 小幡 義之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071149
公開番号（公開出願番号）：特開2000-264779
特許番号：特許第4616949号
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 CZ炉内に、原料溶融液から引き上げられる単結晶の周囲を囲むように設けられる熱遮蔽体を具備するチョクラルスキー型単結晶引上装置に設けられ、融液液面のレベルの検出を行うメルトレベル検出装置であって、
引き上げ単結晶の回転軸を中心として定常的に形成される同心円状で、その断面が放射面状であるうねりによって形成される融液液面であって、引き上げ単結晶の側面に生じるメニスカス近傍の融液液面から熱遮蔽体の底部に至るまでの投射位置に対し、レーザー光の照射方向がCZ炉内のるつぼの径方向に移動するよう制御され、照射するレーザー光のエネルギー準位Erがゴーストのエネルギー準位Egより大きく、融液液面からの輻射光のエネルギーレベルが、減光フィルタでカットされるエネルギーレベルEpよりも小さくなる波長のレーザー光を照射するレーザー光照射器と、
レーザー光の照射方向の移動中、融液液面から反射してくるレーザー光を受光し得る計測スポットに設けられる受光器と、
カットするエネルギーレベルが、融液液面に照射されるレーザー光のエネルギー準位Erとゴーストのエネルギー準位Egの間に位置し、受光器で受光されるレーザー光が通過する位置に設けられ、輻射ノイズ光をカットする減光フィルタと、
レーザー光の投射及び反射に基づき、三角測量の原理を用いて、レーザー光の投射位置をスキャンし、融液液面から反射してくるレーザー光、及び、熱遮蔽体から反射してくるレーザー光を反射率の相違によって区別して融液液面及び熱遮蔽体のレベルの検出を行う手段と、
を具備し、
前記レーザー光照射器による投射位置のスキャンを、CZ炉内に設置されている前記熱遮蔽体の底部に至るまで行い、当該熱遮蔽体の底部から反射してくるレーザー光を、当該熱遮蔽体の底部を測定する際は、メルトレベルを測定するときよりもレーザー出力を大きくし、輻射ノイズ光をカットする減光フィルタを介して前記受光器で受光することにより当該熱遮蔽体底部の位置の算出を行うことを特徴とするメルトレベル検出装置。
IPC (2件)：
C30B 15/26 ( 200 6.01)
, C30B 29/06 ( 200 6.01)
C30B 15/26
, C30B 29/06 502 A
