検査用プローブ基板及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118483
公開番号（公開出願番号）：特開2001-298059
特許番号：特許第3482937号
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】絶縁性を有する基板と、前記基板上に形成された所定の配線パターンと、前記配線パターン上に電気的に接続されるように形成され、半導体装置もしくは電子装置のはんだボールと接触する金属めっき突起とを備えた検査用プローブ基板であって、前記金属めっき突起は、前記はんだボールの径より小さいピッチで設けられた同一形状をした4つの三角柱のめっき突起からなり、前記三角柱のめっき突起は、前記三角柱のめっき突起の底面の頂点のうち、前記はんだボールの接触位置の中心側を向く頂点を通過する前記めっき突起の底面の2等分線の延長上に前記はんだボールの接触位置の中心があるように配置されたことを特徴とする検査用プローブ基板。

IPC (4件)：