特許
J-GLOBAL ID：201103034144050865
半導体製造データの処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-101053
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284202
特許番号：特許第3957946号
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 特定の半導体デバイスを製造するための工程順序、工程コード、項目順序、項目コードを含む工程手順表から所望するデータを抽出して処理を行なう半導体製造データの処理方法であって、
前記工程コードと前記項目コードとによって指定する一意な抽出コードを前記工程手順表内に生成するステップ(a)と、
前記抽出コードを指定して前記データを抽出するステップ(b)とを備え、
前記ステップ(a)において、前記工程手順表内に同一工程コードが複数存在する場合には、前記工程コードは同一工程コード出現順序を含むことを特徴とする半導体製造データの処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 Z
