特許
J-GLOBAL ID：201103034382044946
マイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法、液晶パネル用対向基板の製造方法、液晶パネル用対向基板、液晶パネルおよび投射型表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036118
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235105
特許番号：特許第4193265号
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガラス基板上に所定のパターンのマスクを形成し、
次いで、該マスクを用いてエッチングを施し、前記ガラス基板上に多数のマイクロレンズ用凹部を形成した後、
前記マスクを除去するマイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法であって、
前記マスクのパターンにより、前記マイクロレンズ用凹部の形成領域外にアライメントマークを形成し、
前記エッチングを施す前に、前記アライメントマーク上にのみ保護層を形成することにより、前記エッチングを施した後に保護層を除去して前記アライメントマークを残存させる、
ことを特徴とするマイクロレンズ用凹部付き基板の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G02B 3/00 A
, G02B 3/00 Z
