特許
J-GLOBAL ID：201103034714938148

基板保持装置およびそれを用いた基板処理装置

発明者：
森田 彰彦

森田 彰彦 について

, 
高田 真一

高田 真一 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050278
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252187
特許番号：特許第3642696号
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板の一面を吸引して吸着する真空チャックにて基板を保持する基板保持部と、 該基板保持部の吸引口に連通接続される吸引機構と、 該吸引機構は前記基板を基板保持部にて保持する吸引力を切り換え可能な切換手段と、を備え、前記切換手段は、前記吸引機構による吸引力を切り換える制御手段を有し、その制御手段により前記基板と前記基板保持部との当接時の吸引力を前記基板を前記基板保持部にて保持して可動する時の吸引力よりも低い吸引力にて吸引するように切り換えることを特徴とする基板保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/306
FI (5件)：
H01L 21/30 564 C ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/30 569 C ,  H01L 21/306 J
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
  • 特開昭59-046030
  • 特開昭63-300835
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-158441   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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