特許
J-GLOBAL ID:200903092805572130

圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  宮前 徹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-070205
公開番号(公開出願番号):特開2007-294904
出願日: 2007年03月19日
公開日(公表日): 2007年11月08日
要約:
【課題】高い局所的電場及び応力集中と関連した種類の故障に対して鈍感な、内燃エンジンの燃料インジェクタ用の圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電アクチュエータは、圧電材料でできた圧電層64スタックと、スタックを通して配置された複数の内部電極66、68と、圧電/絶縁インターフェース74の形成のためスタックの少なくとも一表面を少なくとも部分的に覆う絶縁手段72と、2以上の内部電極66,68群に接続する2以上の側部電極60a,62aとを備える。少なくとも1つのブリッジ手段76aが絶縁手段72を延長し、ブリッジ手段76aは側部電極と内部電極との間の接続のため導電性材料を含み、導電性材料と絶縁手段との間のインターフェースにより形成された少なくとも1つの第1の表面と圧電層の内部境界により形成された少なくとも1つの第2の表面とは圧電/絶縁インターフェース74の近傍で互いに事実上連続する。【選択図】図8
請求項(抜粋):
圧電アクチュエータであって、 圧電材料から形成された圧電層(64)のスタックと、 前記スタックを通して配置された複数の内部電極(66、68)であって、該内部電極の間には前記圧電材料の活動領域が形成され、該活動領域は、使用中の前記内部電極(66,68)の2つ以上の群に亘って印加された電圧に応答する、前記複数の内部電極と、 圧電/絶縁インターフェース(74)を形成するため前記スタックの少なくとも1つの表面を少なくとも部分的に覆う絶縁手段(72)と、 前記内部電極(66,68)の前記2つ以上の群に接続するための2つ以上の側部電極(60,62)と、 を備え、 少なくとも1つのブリッジ手段(76)が前記絶縁手段(72)を通って延在し、前記ブリッジ手段は、側部電極と内部電極との間を接続するように導電性材料から構成され、 前記導電性材料と前記絶縁手段との間のインターフェースにより形成された少なくとも1つの第1の表面(82)と、圧電層の内部境界により形成された少なくとも1つの第2の表面(84)とは、前記圧電/絶縁インターフェース(74)の近傍で互いに実質的に連続していることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
IPC (3件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (4件):
H01L41/08 Q ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 S
引用特許:
審査官引用 (5件)
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