特許
J-GLOBAL ID：201103035046855401
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009608
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206026
特許番号：特許第3995819号
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 微細な探針のついたカンチレバーで試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状や物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、
長さの異なる複数のカンチレバーを隣り合わせてカンチレバーベースに備え、
長い方のカンチレバーはZ距離制御用、短い方のカンチレバーは計測用であり、
前記長い方のカンチレバーの探針の先端は、前記短い方のカンチレバーの探針の先端より試料面に近くなるように配し、
さらに、前記カンチレバーベースの両端に前記長い方のカンチレバーを配したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 13/16 ( 200 6.01)
, G01N 13/10 ( 200 6.01)
, G12B 21/08 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
G01N 13/16 101 G
, G01N 13/10 111 H
, G01N 13/10 111 C
, G12B 1/00 601 D
, H01L 41/08 M
