特許

J-GLOBAL ID：201103035151811681

導電性材料、導電性薄膜、複合膜、及び導電性材料の製造方法

発明者： 田畑 仁 ,  川合 知二 ,  マテウ・ジョセフ
出願人/特許権者： 大阪大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241838
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068707
特許番号：特許第3472791号
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 酸化亜鉛と該酸化亜鉛に含有された不純物とからなる導電性材料であって、p導電型であり且つ前記不純物は窒素を含み、N1sの結合エネルギーが397±3eVの範囲内にあることを特徴とする導電性材料。

IPC (5件)：

H01B 1/08 ,  C01G 9/03 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/363 ,  H01L 31/04

FI (6件)：

H01B 1/08 ,  C01G 9/03 ,  H01B 13/00 503 A ,  H01L 21/363 ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• シリコン基板を用いたZnO系化合物半導体発光素子およびその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-211222   出願人：工業技術院長, ローム株式会社