特許
J-GLOBAL ID：201103035293318478
表面欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-084262
公開番号（公開出願番号）：特開2000-276599
特許番号：特許第3985385号
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査面に向けて検査光を照射する光源と、検査光を照射された被検査面を撮影する撮影手段と、この撮影手段により撮影された画像の輝度データの配列を保持して記憶する画像データ記憶手段と、前記画像データ記憶手段に記憶された輝度データを解析して被検査面上の欠陥を検出する画像解析手段とを備えた表面欠陥検出装置であって、
前記被検査面と前記撮影手段との間の垂直離間距離を略一定に維持したままの状態で前記被検査面と前記撮影手段との間に相対移動を生じさせる走査用移動手段と、
前記相対移動の量が前記撮影手段の撮影範囲内にある間に前記撮影手段を繰り返し作動させて前記被検査面の画像を取り込む画像取り込み手段と、
前記画像取り込み手段によって画像が取り込まれる度、前回の画像取り込み時点から今回の画像取り込み時点までの間に生じた前記相対移動の量に基づいて、この相対移動の量に対応する前記画像データ記憶手段上の輝度データの書き込み開始位置を算出するオフセット量算出手段と、
前記オフセット量算出手段で算出された書き込み開始位置に基づき、その時点で既に前記画像データ記憶手段上に記憶されている輝度データに今回の撮影で取り込まれた画像の輝度データを加算して書き込む輝度データ書き込み手段とを有し、
前記光源と前記撮影手段との相対的な位置が固定され、前記光源は、前記相対移動の向きと交差する方向に帯状に広がって照射される複数の検査光を所定のピッチで有し、かつ、前記走査用移動手段による相対移動の速度は、前記画像取り込み手段の画像の取り込み周期の間に生じる相対移動の量が前記所定のピッチと一致しないように調整されると共に、
前記画像解析手段には、前記画像データ記憶手段に記憶された輝度データを解析して、設定範囲内の輝度が所定のしきい値以上の面積に亘って検出された場合に欠陥として検出する欠陥検出機能を配備したことを特徴とする表面欠陥検出装置。
IPC (2件)：
G06T 1/00 ( 200 6.01)
, G01N 21/88 ( 200 6.01)
G06T 1/00 300
, G01N 21/88 J
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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