特許
J-GLOBAL ID:201103035441528541

光学走査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  和田 充夫 ,  東島 隆治
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-043448
公開番号(公開出願番号):特開2001-235318
特許番号:特許第4340371号
出願日: 2000年02月21日
公開日(公表日): 2001年08月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光学走査用の投光ビームを発生するための投光ビーム発生部、前記投光ビーム発生部から射出される投光ビームの光路を偏向させて光学走査をするための回転ミラー、 前記回転ミラーによって偏向された投光ビームを反射させて再び前記回転ミラーに入射するように配置した反射部、 前記回転ミラーにより再び反射された前記反射部からの反射光のうち前記投光ビームの光軸の近傍を通る反射光を受光するように配置した、走査有効領域での被走査物体からの反射光および前記反射部からの反射光を受けて光電変換する光電変換部、 前記光電変換部から出力される電気信号から、前記反射部によって反射された光による電気信号を抽出するための信号抽出部、 前記抽出された電気信号から、回転ミラーの回転により偏向される投光ビームが前記反射部を横切る時の回転ミラーの回転角で定義される回転角度基準位置を決めるための回転角度基準位置信号を生成する回転角度基準位置信号生成部、及び 前記回転角度基準位置信号に基づいて、回転ミラーの回転により偏向される投光ビームが前記反射部を横切る時間間隔を計測して、前記回転ミラーの回転角速度を求める回転角速度計測部を備え、 前記光電変換部または前記信号抽出部から出力される異なる2つの信号の各時系列データを保持するために設けた第1および第2のデータ保持部、前記第1および第2のデータ保持部に保持されている2つの時系列データ間の相対的遅延時間を変化させる相対的遅延時間変化部、前記第1および第2のデータ保持部により保持されている2つの時系列データに対して相互の相関を求める演算を行う相関値演算部、及び前記相関値演算部から得られる相関値が最大となる時点を検出する相関最大検出部、を備えたことを特徴とする光学走査装置。
IPC (2件):
G01B 11/26 ( 200 6.01) ,  G01P 3/68 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/26 Z ,  G01P 3/68 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
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