特許
J-GLOBAL ID：201103035442904245
強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油谷 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-118656
公開番号（公開出願番号）：特開2011-249421
出願日： 2010年05月24日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】電圧印加による、効率的かつ効果的な、強誘電体の脱分極方法を提供し、さらに前記脱分極法による、多機能化・高機能化された強誘電体デバイスを提供すること。【解決手段】分極処理された強誘電体に、電圧を印加して分極反転を行う。該分極反転中の前記強誘電体の圧電性のレベルを検出し、該圧電性のレベルの最小値に基づき、圧電性の目標消失レベル値を設定する。前記強誘電体の分極反転中に、前記圧電性のレベルが、前記目標消失レベル値以下に達した時に、前記分極反転を行なうための電圧印加を停止することで、前記強誘電体を脱分極処理する。前記脱分極処理により、強誘電体デバイスは、強誘電体材料の分極状態の残留歪と、圧電歪と、誘電率と、分極値と、弾性率とに加え、脱分極状態の圧電歪と、誘電率と、分極値と、弾性率とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
分極処理が行われた強誘電体の脱分極方法において、前記強誘電体の圧電性を検出する手段を具備し、前記強誘電体の自発分極方向と逆向きの電界印加による分極反転を行う工程と、前記圧電性を検出する手段を用いて、前記分域反転中における前記強誘電体の圧電性のレベルと、該レベルの最小値とを、検出する工程と、前記圧電性のレベルの最小値に基づき、前記圧電性のレベルの目標消失レベル値を設定する工程と、前記分域反転中の前記圧電性のレベルが前記目標消失レベル値以下に達した時に、前記分極反転を行うための電界の印加を停止する工程と、を含む強誘電体の脱分極方法。
IPC (4件)：
H01L 41/22
, H01L 41/08
, H01L 41/187
, H01L 41/09
H01L41/22 B
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101B
, H01L41/08 C
