エキシマレーザ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336848
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156362
特許番号：特許第4243399号
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ筐体内に、ハロゲンガスを含むレーザ媒体と、該レーザ媒体にレーザを発振させるための高電圧パルスを印加する放電電極対とを収容して成るエキシマレーザ装置において、前記放電電極対は、主結晶相が、酸化イットリウムと酸化アルミニウムとの組成比率が酸化イットリウムのモル比をA,酸化アルミニウムのモル比をBとしたとき、A+B=1、A=0.45〜0.8、B=0.2〜0.55である原料粉末を焼成してなる酸化イットリウムとYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)との混合相であり、副成分として正方晶酸化ジルコニウムを含有するセラミックスから成る絶縁体に取着されていることを特徴とするエキシマレーザ装置。

IPC (1件)：