特許
J-GLOBAL ID：201103035553205052
レジスト剥離剤
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399153
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202618
特許番号：特許第4572466号
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】1〜50重量%の第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物を含むことを特徴とするレジスト剥離剤。
IPC (2件)：
G03F 7/42 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/42
, H01L 21/30 572 B
