特許

J-GLOBAL ID：201103035965839447

放電用電極、及び該放電用電極の製造方法

発明者： 虻川 志向 ,  高畠 剛 ,  難波 吉雄 ,  谷 和美
出願人/特許権者： トーカロ株式会社
代理人 (4件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰 ,  植木 久彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-139684
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287404
出願日： 2009年06月10日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

【課題】大気圧プラズマ放電処理の際の、電極表面の誘電体層の劣化や不均一放電、及び回路全体のインピーダンスが高くなることを防ぐことのできる放電用電極を提供すること。【解決手段】本発明の放電用電極は、対向する二つの電極を備え、これら電極には、対向側表面に誘電体層が形成され、前記各誘電体層の一方が体積抵抗率1011Ωcm以下であることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向する二つの電極を備え、 これら電極には、対向側表面に誘電体層が形成され、 前記各誘電体層の一方が体積抵抗率1011Ωcm以下であることを特徴とする放電用電極。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C23C 4/10 ,  C23C 4/18

FI (3件)：

H05H1/24 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18

Fターム (18件)：

4K029AA04 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA13 ,  4K029BA21 ,  4K029BA34 ,  4K029BC03 ,  4K029CA01 ,  4K031AA06 ,  4K031AB02 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031CB45 ,  4K031DA04 ,  4K031FA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 反射防止フィルム及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-146407   出願人：積水化学工業株式会社
• 特開平2-050967
  
• 積層体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-005715   出願人：積水化学工業株式会社