特許
J-GLOBAL ID：201103036288944162
電子線描画装置用の静電偏向器及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345305
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160370
特許番号：特許第4278804号
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 非磁性金属の粒子を鉛を含まない酸化物系ガラスの中に分散させた複合体からなる電極を有することを特徴とする電子線描画装置用の静電偏向器。
IPC (3件)：
H01J 37/147 ( 200 6.01)
, H01J 9/14 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
H01J 37/147 C
, H01J 9/14 A
, H01L 21/30 541 B
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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