特許
J-GLOBAL ID：201103037043501253
基板処理装置及び基板処理装置における基板位置ずれ補正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239772
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068530
特許番号：特許第4359365号
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内部で基板に対して所定の処理を行う処理チャンバーと、処理チャンバー内に未処理の基板を搬入するとともに処理済みの基板を処理チャンバーから搬出する基板搬送系とを備えた基板処理装置であって、
基板搬送系は、基板を保持するエンドエフェクタと、エンドエフェクタを駆動する駆動機構とを有するとともに、
前記処理チャンバーに前記基板を搬送する途中又は前記処理チャンバーから前記基板を搬出する途中において、前記エンドエフェクタに保持された前記基板を撮像するイメージセンサと、イメージセンサからの画像信号を処理して前記基板の正しい位置に対する位置のずれを求める信号処理部とが設けられており、
前記信号処理部は、前記イメージセンサの画像信号を読み出し周期毎に更新して記憶するメモリを備え、前記メモリに記憶された画像信号から前記基板を含む画像信号を抽出し、抽出された画像信号を処理することで前記位置のずれを求めるものであることを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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