特許

J-GLOBAL ID：201103037198869419

リニアモータの制御方法とその装置

発明者： 宮河 秀和 ,  山本 暁洋
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-136767
特許番号：特許第4182311号
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、 前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量を、センサによって計測された前記可動部の変位または速度と、 前記可動部に作用させる推力の指令値と、から推定し、 この推定された前記重心点における位置または速度の状態量をフィードバックして、前記可動部の位置および速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御方法。

IPC (5件)：

H02P 25/06 ( 200 6.01) ,  H02P 29/00 ( 200 6.01) ,  G01B 21/00 ( 200 6.01) ,  G05B 13/02 ( 200 6.01) ,  G05D 3/12 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H02P 5/00 101 B ,  H02P 5/00 X ,  G01B 21/00 C ,  G05B 13/02 C ,  G05D 3/12 H ,  G05D 3/12 305 V ,  G05D 3/12 306 S

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ステージ駆動制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-198183   出願人：株式会社ニコン
• ロボットの制御方法及び制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-163620   出願人：株式会社不二越
• 静圧流体軸受の駆動構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315079   出願人：京セラ株式会社, 株式会社安川電機

審査官引用 (2件)

• ロボットの制御方法及び制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-163620   出願人：株式会社不二越
• 静圧流体軸受の駆動構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315079   出願人：京セラ株式会社, 株式会社安川電機