音叉型角速度センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315238
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122432
特許番号：特許第3860406号
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の音叉腕が音叉基部から延出した音叉状水晶片からなり、前記音叉腕による互いに反対方向となる水平方向の音叉振動に対し、コリオリの力によって生ずる前記音叉腕の互いに反対方向となる垂直振動を検出してなる音叉型角速度センサにおいて、前記音叉基部の前記水平方向である一主面を保持した際に生ずる前記垂直振動の周波数変化を防止する境界条件としての段差を前記音叉基部の厚み方向に設け、前記境界条件としての段差よりも前記音叉基部の底面側となる前記音叉基部の一主面を保持したことを特徴とする音叉型角速度センサ。

IPC (2件)：